หากคุณมีส่วนร่วมในอุตสาหกรรมเช่นเซมิคอนดักเตอร์อุปกรณ์การแพทย์ออพติกหรือพลังงานหมุนเวียนคุณอาจเคยได้ยินคำศัพท์ดังกล่าวอุปกรณ์พลาสม่าพลาสม่าแต่มันหมายความว่าอย่างไรสำหรับสายการผลิตการควบคุมคุณภาพและบรรทัดล่าง? ในฐานะที่เป็นมืออาชีพที่มีประสบการณ์ที่มีกว่าสองทศวรรษในภาคธุรกิจฉันได้เห็นเทคโนโลยีนี้วิวัฒนาการมาจากเครื่องมือเฉพาะไปจนถึงรากฐานที่สำคัญของการผลิต คู่มือนี้จะทำลายทุกสิ่งที่คุณจำเป็นต้องรู้โดยมุ่งเน้นไปที่ข้อกำหนดทางเทคนิคที่สำคัญทั้งหมดนำเสนอด้วยความชัดเจนและความลึกที่คุณคาดหวัง
ที่แกนกลางของมันอุปกรณ์การสะสมพลาสมาใช้สถานะพลาสมา - ก๊าซไอออไนซ์สูงที่มีไอออนอิเล็กตรอนและอนุภาคที่เป็นกลาง - เพื่อสะสมฟิล์มบาง ๆ ที่สม่ำเสมอลงบนพื้นผิว กระบวนการนี้รู้จักกันในชื่อการสะสมไอสารเคมีที่เพิ่มขึ้นในพลาสมา (PECVD) มีการยึดเกาะที่เหนือกว่าความสอดคล้องที่ยอดเยี่ยมและทำงานที่อุณหภูมิต่ำกว่าเมื่อเทียบกับวิธีการดั้งเดิม สิ่งนี้ทำให้ขาดไม่ได้สำหรับการเคลือบวัสดุที่ไวต่อความร้อน
ระบบการสะสมทั้งหมดไม่ได้ถูกสร้างขึ้นเท่ากัน เครื่องจักรของเราที่ Suzhou Airico Machinery Equipment Co. , Ltd. ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อความแม่นยำความน่าเชื่อถือและความสามารถในการปรับขนาด เราเข้าใจว่าความสำเร็จของคุณขึ้นอยู่กับผลผลิตที่สอดคล้องกันคุณภาพสูงและผลตอบแทนจากการลงทุนอย่างรวดเร็ว อุปกรณ์ของเราได้รับการออกแบบมาเพื่อส่งมอบอย่างแน่นอนครั้งแล้วครั้งเล่า
การทำความเข้าใจข้อกำหนดเป็นกุญแจสำคัญในการตัดสินใจอย่างมีข้อมูล นี่คือรายละเอียดรายละเอียดของพารามิเตอร์ที่สำคัญสำหรับระบบ PECVD มาตรฐานของเราที่นำเสนอเพื่อความชัดเจนและการตรวจสอบอย่างมืออาชีพ
ข้อมูลจำเพาะของระบบสำคัญ:
อัตราการสะสม:50-500 นาโนเมตร/นาที (ปรับได้ตามสูตรวัสดุและกระบวนการ)
ความดันพื้นฐาน:<1.0 x 10
กระบวนการความดันกระบวนการ:100 mtorr - 5 torr
ความเข้ากันได้ของขนาดพื้นผิว:สามารถกำหนดค่าได้สำหรับเวเฟอร์จาก 2 นิ้วสูงสุด 8 นิ้วหรือพื้นผิวขนาดที่กำหนดเอง
สำหรับภาพรวมเปรียบเทียบอย่างรวดเร็วนี่คือตารางที่สรุปความสามารถหลัก:
| หมวดหมู่พารามิเตอร์ | รายละเอียดข้อมูลจำเพาะ | ได้รับประโยชน์จากกระบวนการของคุณ |
|---|---|---|
| ประสิทธิภาพสูญญากาศ | ความดันพื้นฐาน: <1.0 x 10 |
สร้างความมั่นใจว่าสภาพแวดล้อมการประมวลผลที่บริสุทธิ์ปราศจากสารปนเปื้อน |
| การควบคุมการสะสม | อัตรา: 50-500 nm/นาที | นำเสนอความยืดหยุ่นสำหรับการสร้างต้นแบบอย่างรวดเร็วและการผลิตความเร็วสูง |
| การควบคุมอุณหภูมิ | ขั้นตอนความร้อนสูงถึง 500 ° C (± 2 ° C) | ช่วยให้การประมวลผลวัสดุที่ไวต่ออุณหภูมิโดยไม่ประนีประนอม |
| คุณภาพฟิล์ม | ความสม่ำเสมอ: <± 3% | รับประกันความหนาของชั้นที่สอดคล้องกันและคุณสมบัติของวัสดุในทุกส่วน |
| ระดับอัตโนมัติ | PLC พร้อมที่เก็บสูตรสูตร | ลดข้อผิดพลาดของผู้ปฏิบัติงานทำให้มั่นใจได้ว่าจะทำซ้ำและทำให้การฝึกอบรมง่ายขึ้น |
วิศวกรรมที่พิถีพิถันนี้ทำให้มั่นใจได้ว่าทุกหน่วยที่เราจัดส่งจาก Suzhou Airico Machinery Machinery Machinery Co. , Ltd. เป็นไปตามมาตรฐานสากลที่สูงที่สุดโดยให้เครื่องมือที่ไม่ได้เป็นเพียงการซื้อ แต่เป็นหุ้นส่วนระยะยาวในนวัตกรรม
1. ข้อกำหนดการบำรุงรักษาหลักสำหรับอุปกรณ์พลาสม่าพลาสมาคืออะไร?
การบำรุงรักษาอย่างสม่ำเสมอเป็นสิ่งสำคัญสำหรับอายุยืนและประสิทธิภาพที่สอดคล้องกัน งานที่สำคัญรวมถึงการทำความสะอาดเป็นระยะของห้องสะสมเพื่อลบการสะสมฟิล์มบาง ๆ ตรวจสอบและแทนที่โอริงเพื่อรักษาความสมบูรณ์ของสูญญากาศควบคุมการไหลของมวลและมาตรวัดความดันทุก 6-12 เดือนและตรวจสอบเครื่องกำเนิด RF และเครือข่ายที่ตรงกัน ระบบของเราที่ Suzhou Airico ได้รับการออกแบบโดยคำนึงถึงความสามารถในการให้บริการซึ่งมีพอร์ตที่เข้าถึงได้ง่ายและคู่มือการบำรุงรักษาโดยละเอียดเพื่อลดเวลาหยุดทำงาน
2. การเลือกก๊าซสารตั้งต้นมีผลต่อการเคลือบขั้นสุดท้ายในกระบวนการสะสมพลาสมาอย่างไร
ก๊าซสารตั้งต้นเป็นพื้นฐานที่กำหนดองค์ประกอบทางเคมีของฟิล์มที่สะสม ตัวอย่างเช่นการใช้ไซเลน (SIH
3. อุปกรณ์การสะสมพลาสมาของคุณสามารถจัดการรูปร่างหรือขนาดที่ไม่ได้มาตรฐานได้หรือไม่?
อย่างแน่นอน. ในขณะที่การกำหนดค่ามาตรฐานของเราได้รับการปรับให้เหมาะสมสำหรับขนาดเวเฟอร์ทั่วไปเราเชี่ยวชาญที่ Suzhou Airico ในการให้บริการโซลูชั่นที่กำหนดเอง ซึ่งรวมถึงการออกแบบติดตั้งและระบบอิเล็กโทรดสำหรับรูปทรงเรขาคณิตที่ซับซ้อนเช่นส่วนประกอบอุปกรณ์การแพทย์เลนส์ออพติคอลหรือเครื่องมือพิเศษ เราทำงานร่วมกับคุณโดยตรงเพื่อทำความเข้าใจข้อกำหนดของสารตั้งต้นของคุณและปรับอุปกรณ์ให้เหมาะสมเพื่อให้มั่นใจว่าครอบคลุมการเคลือบแบบสม่ำเสมอแม้จะอยู่บนพื้นผิว 3 มิติที่ท้าทาย
การลงทุนในอุปกรณ์การสะสมพลาสมาที่เหมาะสมเป็นการตัดสินใจเชิงกลยุทธ์ที่สามารถยกระดับคุณภาพผลิตภัณฑ์ของคุณเปิดใช้งานการออกแบบใหม่และปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิต มันเกี่ยวกับการได้เปรียบในการแข่งขันผ่านความเหนือกว่าทางเทคโนโลยี พารามิเตอร์โดยละเอียดและคำถามที่พบบ่อยที่มีให้ที่นี่เป็นข้อพิสูจน์ถึงความลึกทางวิศวกรรมและความเชี่ยวชาญด้านการใช้งานที่เรานำมาสู่ตาราง
พร้อมที่จะสำรวจว่าอนาคตที่เคลือบด้วยความแม่นยำสามารถมองหาผลิตภัณฑ์ของคุณได้อย่างไร? ทีมที่Suzhou Airico Machinery Equipment Co. , Ltd.พร้อมที่จะเป็นพันธมิตรกับคุณ เราไม่เพียง แต่ขายเครื่องจักร เราให้บริการโซลูชั่นที่ครอบคลุมตั้งแต่การให้คำปรึกษาเบื้องต้นและการกำหนดค่าที่กำหนดเองไปจนถึงการติดตั้งการฝึกอบรมและการสนับสนุนอย่างต่อเนื่อง
ติดต่อเราวันนี้เพื่อหารือเกี่ยวกับข้อกำหนดกระบวนการเฉพาะของคุณและขอใบเสนอราคาโดยละเอียดให้เราแสดงให้เห็นว่าความเชี่ยวชาญของเราสามารถกลายเป็นข้อได้เปรียบของคุณได้อย่างไร
